Résumé - Modules interferométriques monolithiques pour positionnement de coordonnées multi-axes avec une précision de quelques nanomètres

Modules interferométriques monolithiques pour positionnement de coordonnées multi-axes avec une précision de quelques nanomètres

2025-07-10 11:13:04

{"Simon Rerucha","Ondrej Cip","Miroslava Hola","Josef Lazar","Bretislav Mikel"}

{physics.optics,physics.app-ph,physics.ins-det}

Cette étude de recherche discute du développement d'un assemblage laser interférométrique monolithique compact conçu pour des mesures de déplacement à deux et trois axes de haute précision dans les systèmes de positionnement en coordonnées. La conception vise à être intégrée dans des plateformes de mouvement de précision avancées telles que les instruments de nanométrie, les équipements de fabrication de semi-conducteurs et les environnements de vide ultra-haute (UHV). L'assemblage intègre plusieurs interféromètres dans un cadre de base monolithique en forme de L, permettant une erreur périodique inférieure au nanomètre dans les systèmes de mouvement X-Y tout en minimisant les instabilités géométriques et thermiques. L'architecture pré-alignée et pré-ajustée simplifie l'intégration, améliore la stabilité à long terme et assure une performance métrologique cohérente. Le protocole de vérification du système utilise l'analyse de phase quadratique et des métriques d'erreur systématique pour caractériser les performances et optimiser l'assemblage. Les résultats indiquent une capacité de mesure inférieure au nanomètre et suggèrent l'adéquation du système pour une mise en œuvre à l'échelle dans des applications de métrologie de coordonnées avancées. Le document détaille la configuration optique et mécanique de l'assemblage interférométrique, la mise en œuvre de l'architecture du récepteur homodyne et la méthode d'assemblage. Il décrit également les procédures de vérification et de test, y compris les métriques d'évaluation quantitatives et les résultats de mesures d'échantillons, démontrant la capacité du système à atteindre une haute stabilité, une précision et une reproductibilité appropriées pour l'intégration OEM dans des systèmes de positionnement de précision.