Resumen - Módulos interferométricos monolíticos para posicionamiento de coordenadas multi-axes con precisión subnanométrica

Módulos interferométricos monolíticos para posicionamiento de coordenadas multi-axes con precisión subnanométrica

2025-07-10 11:13:04

{"Simon Rerucha","Ondrej Cip","Miroslava Hola","Josef Lazar","Bretislav Mikel"}

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Este documento de investigación aborda el desarrollo de un ensamble láser interferométrico monolítico compacto diseñado para mediciones de desplazamiento de alta precisión en dos y tres ejes en sistemas de posicionamiento cartesiano. El diseño tiene como objetivo integrarse en plataformas de movimiento de precisión avanzadas, como instrumentos de nanometrología, equipo de fabricación de semiconductores y entornos de vacío ultra-alto (UHV). El ensamble integra múltiples interferómetros en una base monolítica en forma de L, permitiendo errores periódicos subnanométricos en sistemas de movimiento X-Y mientras minimiza la inestabilidad geométrica y térmica. La arquitectura pre-alineada y preajustada simplifica la integración, mejora la estabilidad a largo plazo y asegura un rendimiento metrologístico consistente. El protocolo de verificación del sistema utiliza análisis de fase cuadrática y métricas de error sistemático para caracterizar el rendimiento y optimizar el ensamble. Los resultados indican una capacidad de medición subnanométrica y sugieren la idoneidad del sistema para una implementación escalable en aplicaciones de metrología cartesiana avanzada. El documento detalla la configuración óptica y mecánica del ensamble interferométrico, la implementación de la arquitectura del receptor homodino y la metodología de ensamble. También describe los procedimientos de verificación y prueba, incluyendo métricas de evaluación cuantitativa y resultados de mediciones de muestra, demostrando la capacidad del sistema para alcanzar una alta estabilidad, precisión y reproducibilidad adecuadas para la integración OEM en sistemas de posicionamiento de precisión.